[发明专利]芯片的测试方法、设备和存储介质有效
| 申请号： | 202010248422.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111398785B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李晶晶;谢晋春;李亮 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 黎伟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种芯片的测试方法、设备和存储介质，包括：在预存的品种参数中调用目标晶圆对应的探针走向，探针走向是基于样品晶圆的烧针位置，对烧针位置进行规避的走向；根据目标晶圆对应的探针走向，移动探针对目标晶圆上的每一个需要测试的芯片进行测试；根据测试结果绘制目标晶圆的测试结果图。本申请通过测试设备在对目标晶圆的测试过程中，调用品种参数中目标晶圆对应的探针走向，根据探针走向控制探针移动对目标晶圆进行测试，由于探针走向是基于样品晶圆的烧针位置对烧针位置进行规避的走向，因此能够降低对目标晶圆进行测试的过程中产生烧针问题的几率，从而在一定程度上提高了芯片的制造效率。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 测试 方法 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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