[发明专利]微纳米尺寸图形化薄膜阵列的介电测试系统及方法有效
| 申请号： | 202010251069.7 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111398370B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 汤如俊;徐思晨 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N27/72;G01R27/26;G01R31/00 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王玉仙 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于微纳米尺寸图形化薄膜阵列的介电测试系统，包括：用于测试介电性能的测试单元；绝缘的样品台，样品台上设有第一样品台电极和第二样品台电极；第一样品台电极和第二样品台电极分别与测试单元电连接；相对平行的第一电极和第二电极；第一电极与第一样品台电极电连接，第二电极与第二样品台电极电连接；第一电极和第二电极之间用于夹设微纳米尺寸图形化薄膜阵列；绝缘的测试夹具，其位于样品台上，测试夹具开设有用于放置第一电极、第二电极和微纳米尺寸图形化薄膜阵列的样品槽，测试夹具可拆卸连接有绝缘的紧固单元，紧固单元的一端位于样品槽内且用于对第一电极加压。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 尺寸 图形 薄膜 阵列 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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