[发明专利]基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010251219.4 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111262551A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H01L41/187 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器及其制备方法，通过对电极形状、电极尺寸、压电材料取材、厚度等方面的优化设计，减小了横波寄生模式的影响，使得谐振器仅工作在剪切波模式下，提高了谐振器的品质因数；在双抛高阻硅片的一个表面先后沉积保护层、牺牲层材料，再将衬底化学机械抛光；通过离子注入与晶圆键合的方法，将铌酸锂薄膜转移到该抛光的衬底上面，然后利用剥离工艺在铌酸锂薄膜表面溅射金属叉指电极；最后利用干法刻蚀或者湿法腐蚀的办法去掉牺牲层；随后将这一面保护起来，在另一面重复之前的生长，除去保护层后获得成品器件；进而提高了谐振器的机械强度与可靠性，可适用于谐振器的大规模制造。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 铌酸锂 薄膜 空气 剪切 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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