[发明专利]确定质量粒子束的波前的方法和设备在审
| 申请号： | 202010252717.0 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111799142A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | J.韦尔特;M.鲍尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;G21K1/06;G03F1/86;G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于确定质量粒子束(225、510、1910)的波前(550)的方法(3300)和设备(200)，其包括下列步骤：(a)在不同记录条件(315、325)下使用质量粒子束(225、510)记录(3320)参考结构(130)的两个或多个图像(310‑390)；(b)以参考结构(130)的修改的参考图像(480)产生(3330)两个或多个记录的图像(310‑390)的点扩散函数(1750)；以及(c)为了确定所述波前(550)，基于产生的点扩散函数(1750)和不同记录条件(315、325)执行(3340)质量粒子束(225、510)的相位重建。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 质量 粒子束 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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