[发明专利]一种可定位固定多种基板的夹具机构在审
| 申请号： | 202010253359.5 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111299876A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张政福;王洋;王凯;孙君实;王巍 | 申请（专利权）人： | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K37/04;B23K101/40 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 王淑秋 |
| 地址： | 130102 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可定位固定多种基板的夹具机构，该机构的载片台位于XY托板上方并通过旋转机构与XY托板连接；微调机构包括微调螺纹副主动调节部、微调螺纹副被动调节部、拉簧；微调螺纹副主动调节部固定安装在XY托板上；微调螺纹副被动调节部与载片台固定连接；拉簧的一端与XY托板固定连接，另一端与载片台固定连接；转动微调螺纹副主动调节部的旋钮可推动微调螺纹副被动调节部转动从而带动载片台转动并在拉簧的作用下回位；X定位靠边和Y定位靠边相互垂直固定在载片台上；载片台上分布有多个真空吸附口，各真空吸附口连接外部真空泵。本发明能够实现不同尺寸、厚度基板的高精度定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定位 固定 多种 夹具 机构 | ||
【主权项】：
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