[发明专利]一种基于SU-8胶电解法制备纳米尺度电射流喷头的方法有效
| 申请号： | 202010253691.1 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111438944B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 殷志富;杨雪;贾炳强;胡伟;李露 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B29C64/209 | 分类号： | B29C64/209;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 | 代理人： | 李荣武 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及纳米尺度电射流喷头制备，特别是涉及一种基于SU‑8胶电解法制备纳米尺度电射流喷头的方法。本发明采用SU‑8胶作为电射流喷针材料，通过不完全烘干、过曝光方式，为纳米裂纹的形成创造必要条件。以石墨烯直线为诱导图形，在高压电的电解作用下，在诱导图形下方形成一条线性、尺寸较均匀的纳米沟道。经过热压键合、紫外光刻、电极制造步骤后，形成最终的纳米尺度电射流喷头。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 su 解法 制备 纳米 尺度 射流 喷头 方法 | ||
【主权项】：
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