[发明专利]探针销对位装置在审
| 申请号： | 202010254893.8 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111913018A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 迹边好寿 | 申请（专利权）人： | 株式会社昭和真空 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 周华宁 |
| 地址： | 日本神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种探针销对位装置，能够容易地对探针销与电极焊盘的位置的偏差量实时地进行校正，并且能够防止探针销或电子设备受到损伤。探针销对位装置(100)具备：反射镜(110)，其在探针销(331A、331B)靠近晶体振子(21)时，使电极焊盘(212P、213P)映入其中；相机(120)，其对探针销(331A、331B)、以及映入反射镜(110)的镜像进行拍摄；偏差量测量部(201)，其测量拍摄图像中的探针销(331A、331B)的位置与电极焊盘(212P、213P)的位置的偏差量；移动部(202)，其使载体(22)与探针销(331A、331B)相对移动；以及控制部(200)，其通过移动部(202)使探针销(331A、331B)与载体(22)相对移动，以使偏差量接近于零。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 对位 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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