[发明专利]一种全电控二维光束扫描装置有效
申请号: | 202010255346.1 | 申请日: | 2020-04-02 |
公开(公告)号: | CN111398983B | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 国伟华;谈苏;陆巧银 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01S17/66 | 分类号: | G01S17/66;G01S7/481 |
代理公司: | 深圳市迪斯卓越专利代理事务所(普通合伙) 44443 | 代理人: | 闵华明;李小艳 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提出了一种全电控二维光束扫描装置,该装置包括激光器、一维波导相控阵、柱透镜、MEMS反射镜和控制芯片;所述一维波导相控阵用于将入射激光光束通过相控阵产生一维的第一扫描光束,该第一扫描光束经柱透镜整形,再经MEMS反射镜反射至自由空间,所述MEMS反射镜绕轴转动,所述一维波导相控阵与所述MEMS反射镜均电连接于控制芯片,以控制从MEMS反射镜射出的第二扫描光束实现全空间二维扫描。本发明提供的二维光束扫描装置通过混合集成一维相控阵和MEMS反射镜,实现了激光光束的全空间二维扫描,相比于传统二维相控阵系统,本发明的优势是:节约了激光器成本,减少了控制芯片工作负荷,降低了芯片功耗,缓解了散热压力,利于系统的小型化集成。 | ||
搜索关键词: | 一种 全电控 二维 光束 扫描 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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