[发明专利]基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法有效
| 申请号： | 202010256966.7 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111426686B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 尚潇;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/55;G01N21/01;B82Y20/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法，所述基于硅纳米柱的结构色成像结构，包括：衬底；以及多个硅‑铬圆柱纳米结构形成的硅‑铬圆柱纳米结构阵列，位于所述衬底上，用于呈现结构色，每个所述硅‑铬圆柱纳米结构包括：硅圆柱纳米结构，以及覆于其上表面的金属掩膜铬。其能够有效缓解现有技术中结构色成像结构的饱和度低、纯净度低以及效率低等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 结构 成像 测试 系统 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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