[发明专利]粒子尺寸测定装置及测定方法在审
| 申请号： | 202010257016.6 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111795910A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 三泽智也 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种粒子尺寸测定装置及测定方法，能够测定更小的粒子尺寸。用于测定粒子的尺寸的粒子尺寸测定装置(1)具备：第一光源(2)，其向包含粒子的试料(9)照射平行光(10)；第一摄像装置(4)，其配置为隔着试料而与第一光源大致对置，用于拍摄试料；以及图像解析部(7)，其对由第一摄像装置拍摄到的图像进行解析，第一摄像装置与第一光源大致对置地进行配置，使得能够通过第一摄像装置来拍摄入射到粒子的平行光以规定角度(θth)以下散射的散射光，图像解析部基于由第一摄像装置拍摄到的散射光图像，算出粒子的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 尺寸 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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