[发明专利]一种钼钛合金靶材的制造方法在审
申请号: | 202010257787.5 | 申请日: | 2020-04-03 |
公开(公告)号: | CN111304607A | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 陈占洋;徐信森;陈兴友 | 申请(专利权)人: | 山东格美钨钼材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C1/04;C22C14/00;C22C27/04;C22F1/02;C22F1/18;B22F3/04;B22F3/15 |
代理公司: | 西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 61260 | 代理人: | 石琳丹 |
地址: | 264211 山东省威海*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种钼钛合金靶材的制造方法,其解决了现有大尺寸MoTi合金靶材制造方法工序及设备成本高、难以达到合适的加工率的问题。该方法包括:选取钼粉和钛粉,钼粉的平均粒径小于20μm,钛粉的平均粒径为10‑300μm;在惰性气体的保护条件下,混合钼粉和钛粉;对混合粉末冷等静压成型;对成型的钼钛混合粉末进行加压烧结,得到钼钛压锭;加压烧结过程的压力为75‑300MPa,温度为650‑1000℃,时间为2‑12小时;对钼钛压锭进行压延,达到需求尺寸;对压延后的钼钛板进行热处理,以形成靶材溅射所需的再结晶组织,得到靶材板。本发明相较于现有生产方式而言成本较低、且不受设备尺寸限制。 | ||
搜索关键词: | 一种 钛合金 制造 方法 | ||
【主权项】:
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