[发明专利]减压干燥装置

摘要

本发明提供一种使涂敷于基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其包括暂时收集从所述基板气化了的所述溶液中的溶剂的溶剂收集部，所述溶剂收集部以与所述基板相对的方式配置，且被划分为多个区域，在所述多个区域各自形成有开口，所述溶剂收集部形成为所述多个区域各自的每单位面积的热容根据与该区域相对的基板中的部分而不同。由此，能够使基板上的溶液的干燥时间在基板的面内更加均匀。