[发明专利]节约光阻液的光阻液喷涂系统在审
| 申请号： | 202010263935.4 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111451022A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 尹安和 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B05B9/04 | 分类号： | B05B9/04;B05B15/00;B05B15/40 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种节约光阻液的光阻液喷涂系统，包括：储液罐，用于储存和供应光阻液；第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质；缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；所述第一过滤器设置于所述储液罐与所述缓冲器之间；光阻液泵，用于将所述缓冲器内的光阻液输送至使用端；所述缓冲器连接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述回抽管安装有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于将所述缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端。所述光阻液喷涂系统能够节约光阻液，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 节约 光阻液 喷涂 系统 | ||
【主权项】：
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