[发明专利]气体置换用干燥房在审
| 申请号： | 202010268559.8 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN112007470A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 田中亘;西国原仁美;河口和彦;岩崎麻由;江岛宽明 | 申请（专利权）人： | 株式会社西部技研 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/26;B01D53/28;H01L51/56 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 金辉;崔炳哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 置换 干燥 | ||
【主权项】：
暂无信息
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