[发明专利]一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人在审
| 申请号： | 202010268886.3 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111403321A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘敬斌 | 申请（专利权）人： | 绍兴宾果科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L27/15;H01L33/48 |
| 代理公司： | 深圳灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558 | 代理人： | 陶品德 |
| 地址： | 312500 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带式电泳Micro LED元件连续排列机器人，包括底板、顶板、元件固定膜料卷、电泳排列槽、第一水洗槽、第二水洗槽和常温氮气烘干箱，顶板的一端设有U形缺口，电泳排列槽、第一水洗槽、第二水洗槽设于底板上并位于U形缺口下方，顶板设有多个第一辊轴件；电泳排列槽包括电泳槽、热交换器、阳极板、阴极板及设于电泳槽内的第二辊轴件，热交换器与阳极板分别设于电泳槽相邻的两个槽壁上，阴极板设于第二辊轴件上，热交换器设有出液板和进液板，出液板、进液板分别设于电泳槽相对的两个内壁上，阴极板靠近进液板设置；其中两个第一辊轴件分别设有预热氮气喷嘴、冷却氮气喷嘴；本发明能够进行大量Micro LED元件连续式定向均匀化排列操作，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电泳 micro led 元件 连续 排列 机器人 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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