[发明专利]烘烤设备的操作方法有效
| 申请号： | 202010273480.4 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111451110B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 邹家鹏 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 何辉 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种烘烤设备的操作方法，所述烘烤设备包括加热板、夹持装置以及移载装置，所述夹持装置设置于所述加热板上方，以将基板固定于所述加热板上方，所述加热板上设置有相交错的多个吹气孔和多个支撑孔，所述多个吹气孔用于向所述基板吹气，形成气浮，所述移载装置穿过所述多个支撑孔以支撑所述基板，相比于现有技术，本申请通过将基板与加热板分离，提高了基板的受热均匀性，保证了成膜的膜厚均一性，形成气浮以提高基板的平坦度，并设置可灵活取放基板的移载装置以提高烘烤操作的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司，未经TCL华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010273480.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种石灰石干磨制粉加工工艺
- 下一篇：土壤重金属治理装置及治理方法
