[发明专利]承载机构在审

专利信息
申请号: 202010274571.X 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN111426656A 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 周竞辉;高鹏;张风港;顾伟 申请(专利权)人: 北京石墨烯研究院
主分类号: G01N21/59 分类号: G01N21/59
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 李华;崔香丹
地址: 100095 北京市海淀区苏家*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开涉及工件装载技术领域,提出了一种承载机构,用于夹紧基片,承载机构包括主框架和夹紧边部,夹紧边部设置在主框架上,夹紧边部包括夹紧边和弹性元件,夹紧边上设置有安装槽,弹性元件设置在安装槽内,安装槽包括斜边沟槽,斜边沟槽位于安装槽的中部;其中,夹紧边部成对设置,成对的两个夹紧边部相对可移动地设置,以将基片夹紧在相对的两个弹性元件之间。由于两个夹紧边之间的距离可调整,且在装载过程中仅需通过移动夹紧边部就可以完成对基片的夹紧,从而提高了基片的装夹效率,解决了现有技术中的基片装载效率较低的问题。
搜索关键词: 承载 机构
【主权项】:
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