[发明专利]半导体设备多线程并发调度重算方法、系统及控制系统有效
| 申请号： | 202010274767.9 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111475308B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 柴加加 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/52 | 分类号： | G06F9/52;G06F9/48 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体设备多线程并发调度重算方法、系统及控制系统，方法包括：接收重新调度操作指令，创建重算事件，为重算事件设置调度标识；将重算事件的调度标识设置为与当前的全局调度标识相等；对重算事件进行重新调度计算并输出对应的机台动作序列，同时判断调度标识是否与当前的全局调度标识相等，若是则修改全局调度标识并将机台动作序列下发到半导体设备执行，否则将机台动作序列抛弃；将多个并发的重算事件分别在不同的线程进行重新调度计算，首先判断最先完成重新调度计算的重算事件的调度标识是否与当前的全局调度标识相等。实现避免多线程并发调度重算锁死问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 多线程 并发 调度 方法 系统 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010274767.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
