[发明专利]基于立体电感的双层硅基滤波器有效
| 申请号： | 202010274784.2 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111446528B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王胜福;李海剑;钱丽勋;李宏军;厉建国;杨亮;杨志;董春晖;马文涛;申晓芳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H01P1/20 | 分类号： | H01P1/20;H01L23/64 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 付晓娣 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明适用于滤波器制作技术领域，提供了一种基于立体电感的双层硅基滤波器，包括：通过具有多个孔的上硅片和具有多个孔的下硅片；所述上硅片的上表面设置多个不同的第一电感结构，所述上硅片的下表面对应设置多个不同的第二电感结构，且各个所述第一电感结构与对应的第二电感结构通过孔连接构成立体电感结构；所述下硅片的上表面设置多个不同的第三电感结构，且所述第三电感结构与所述第二电感结构相同，所述第三电感结构与所述第二电感结构键合绑定，从而可以制备出体型小的具有立体电感的滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 立体 电感 双层 滤波器 | ||
【主权项】：
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