[发明专利]基于铌酸锂单晶薄膜的微环电光调制器及使用方法和应用在审
| 申请号： | 202010274977.8 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111458908A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 杨明祥;崔乃迪;杨忠华;梁宇鑫;冯靖;李智慧;廖海军;陈仙;冯俊波;郭进 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035;H04B10/69 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 谢毅 |
| 地址： | 400030 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种基于铌酸锂单晶薄膜的微环电光调制器及使用方法和应用，包括铌酸锂单晶薄膜，其包括微环结构和光波导，所述微环结构和所述光波导均设置于所述铌酸锂单晶薄膜上设置有铌酸锂的一侧；电极，所述电极分别设置于所述微环结构内侧和所述微环结构外侧。本申请通过在设置微环结构，一方面增加了电光作用的长度，减小了调制器的驱动电压，降低了器件的功耗，并且可以提高射频前端的接收灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 铌酸锂单晶 薄膜 电光 调制器 使用方法 应用 | ||
【主权项】：
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