[发明专利]一种芯片加工用刻蚀设备在审

专利信息
申请号: 202010275343.4 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN111463164A 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 饶正盛 申请(专利权)人: 饶正盛
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201616 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种芯片加工用刻蚀设备,其结构包括底固箱、外固箱、上抵层、内控箱、控制面板,底固箱安装于外固箱底端,内控箱嵌入于外固箱内部,暴露出所需刻蚀的部位,其余部位由叠层所覆盖住,原本底端抵住物体上表面的顺贴面,让中部所抵触的部位有一个反扩的力,辅助整体的粘附力,能够在刻蚀的部位有所下移的同时,对其防护的部位侧面进行防护,通过抵块卡于主压板之间,上端的摆角支撑开主压板的承受力,主要承受外界的支点力,让其导头能够对其引向角进行往外扩,卡块将会辅助推开,能够在部位跟随刻蚀的高度下移时,将会通过上端的挤压力,将其挤出,下端有个反向的包裹力,在没有底端的释放力时,将会往回缩动。
搜索关键词: 一种 芯片 工用 刻蚀 设备
【主权项】:
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