[发明专利]一种防止光刻胶溢流的接口盘在审
| 申请号： | 202010276097.4 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111308858A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李菲;王林;李卫士 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技（西安）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710018 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种防止光刻胶溢流的接口盘，包括表面光滑平整的基板，沿基板外圈的内部加工有一圈溢胶槽，所述的溢胶槽通过溢胶槽外圈和溢胶槽内圈分隔形成，溢胶槽上设有一处晶圆拿取缺口，晶圆拿取缺口处的溢胶槽内圈向内凹陷，通过晶圆拿取缺口拿取晶圆，晶圆上流出的胶收集到溢胶槽当中，溢胶槽围成的区域内部加工有若干个真空孔，所述的基板置于光刻机卡盘上时，真空孔与光刻机卡盘上的真空道相通，基板被吸紧。本发明能够有效防止光刻胶污染或破坏光刻机卡盘，且制作成本低、制作工艺相对简单、易清理、可重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 光刻 溢流 接口 | ||
【主权项】：
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