[发明专利]一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法在审
| 申请号： | 202010276797.3 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111431499A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H01L41/25;H01L41/312 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种柔性剪切波薄膜体声波滤波器的制备方法，在第一衬底的上端面沉积压电层，然后在压电层上生长一整层绝缘保护层并进行图形化刻蚀，获得第一复合衬底，在第二衬底的上端面制备临时键合层，在临时键合层上键合一层柔性衬底，获得第二复合衬底；将第二复合衬底与第一复合衬底进行键合，键合完成后将第一衬底剥离掉，露出压电层，在压电层上制备顶电极，并对顶电极进行图形化处理；在压电层上覆盖顶电极制备柔性保护层，同时对柔性保护层进行图形化光刻，使顶电极显露，形成上空腔；将第二衬底从柔性衬底上解键合实现剥离，获得柔性滤波器器件；通过多个柔性滤波器器件进行级联，获得具有对不同频段进行滤波功能的滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 剪切 薄膜 声波 滤波器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河源市众拓光电科技有限公司，未经河源市众拓光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010276797.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种园林景观LED灯
- 下一篇：用于智慧社区的新风系统
