[发明专利]检查装置和加工装置

摘要

提供检查装置和加工装置。检查装置对粘贴有带并借助带而安装于框架的被检查物进行检查，检查装置具有：被检查物保持机构，其具有载置部，该载置部具有上下露出的透明体，透明体的上表面成为隔着带而载置被检查物的载置面，被检查物保持机构能够对载置于载置面的被检查物进行保持；拍摄机构，其具有配设于载置部的上方的第1拍摄单元、配设于载置部的下方的第2拍摄单元以及将第1拍摄单元和第2拍摄单元连结的连结部，拍摄机构能够通过第1拍摄单元从上表面侧拍摄载置于该载置部的该载置面而保持于该被检查物保持机构的被检查物，并通过第2拍摄单元从下表面侧拍摄被检查物，拍摄机构能够拍摄被检查物的上表面侧和下表面侧的同一位置。