[发明专利]电容器结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202010280440.2 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN113517399A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 金一球;李俊杰;周娜;杨涛;李俊峰;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02;H01L21/02;H01L27/108 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种电容器及其制备方法。与现有制造方法得到的电容器相比，本申请通过将常规工艺中采用湿法刻蚀去除牺牲模层替换为干法剥离工艺，并随后进行湿法清洗工艺，通过全制程的干法工艺，从而能够有效解决因为湿法工艺所产生的表面张力等而导致的底电极的倾斜甚至是塌陷的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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