[发明专利]一种具有层叠结构的多栅指数晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 202010281186.8 | 申请日： | 2020-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN111613676B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 马顺利;吴天祥;任俊彦 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/10;H01L29/24;H01L29/423;H01L21/34 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于晶体管技术领域，具体为一种具有层叠结构的多栅指数晶体管。本发明多栅指数晶体管，依次由漏极、沟道、源极、沟道循环层叠构成，所有的沟道宽度均大于源漏宽度，在沟道右侧未被源漏覆盖的最右侧区域，分别形成栅氧化层和栅极，并且所有的栅极通过栅极金属相连接，以此形成统一的栅极；沟道以二维材料制备，多沟道受到统一栅极的调控；该晶体管沟道长度较小，电流流动方向沟道面积较大，因此沟道电流较大。并且所有的沟道受到统一的栅极调控，栅控能力强，集成度高，可应用于新型电子器件和医疗领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 层叠 结构 指数 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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