[发明专利]一种基板的曝光方法及加工方法在审

专利信息
申请号: 202010282240.0 申请日: 2020-04-11
公开(公告)号: CN111273522A 公开(公告)日: 2020-06-12
发明(设计)人: 张柯;李伟成;张雷 申请(专利权)人: 苏州源卓光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215026 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明一种基板的曝光方法及加工方法,所述基板上涂覆有油墨层,所述油墨层上覆盖有保护层,曝光光源的光线穿过所述保护层对所述油墨层进行曝光。加工方法包括如下步骤:(1)在基板上涂覆油墨层;(2)对所述油墨层进行前烘;(3)根据上述曝光方法对基板进行曝光;(4)曝光完成后去除油墨层上的保护层;(5)进行显影操作。通过在基板的油墨层上增加一层保护层,使得在对油墨层进行曝光的过程中,所述油墨层可以隔绝氧气,实现提高油墨层的光泽度的目的。
搜索关键词: 一种 曝光 方法 加工
【主权项】:
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