[发明专利]一种基板的曝光方法及加工方法在审
申请号: | 202010282240.0 | 申请日: | 2020-04-11 |
公开(公告)号: | CN111273522A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 张柯;李伟成;张雷 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明一种基板的曝光方法及加工方法,所述基板上涂覆有油墨层,所述油墨层上覆盖有保护层,曝光光源的光线穿过所述保护层对所述油墨层进行曝光。加工方法包括如下步骤:(1)在基板上涂覆油墨层;(2)对所述油墨层进行前烘;(3)根据上述曝光方法对基板进行曝光;(4)曝光完成后去除油墨层上的保护层;(5)进行显影操作。通过在基板的油墨层上增加一层保护层,使得在对油墨层进行曝光的过程中,所述油墨层可以隔绝氧气,实现提高油墨层的光泽度的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 方法 加工 | ||
【主权项】:
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