[发明专利]高压超结衬底的制备方法在审
| 申请号： | 202010284469.8 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111463262A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 张广银;白玉明;杨飞;吴凯;朱阳军 | 申请（专利权）人： | 南京芯长征科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 211100 江苏省南京市江宁区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高压超结衬底的制备方法，其在基层衬底上通过外延工艺制备衬底耐压辅助层以及超结耐压层，通过沟槽刻蚀工艺在衬底耐压辅助层内得到衬底辅助层沟槽，对超结耐压层沟槽刻蚀后得到耐压辅助通孔，整个工艺过程与现有工艺兼容，由于采用同一光刻版刻蚀得到耐压辅助通孔以及衬底辅助层沟槽，能有效降低刻蚀难度，同时，刻蚀得到的衬底辅助层沟槽以及耐压辅助通孔具有很好的垂直性，侧壁一致性较好，深宽比减小，降低了辅助层沟槽填充体、辅助通孔填充体填充的难度，减少了空洞和缺陷的形成，电荷平衡得到加强，有利于击穿电压的提高，技术难度得到大幅的降低，为超结应用在特高压领域奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 高压 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
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