[发明专利]一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵

摘要

本发明公开了一种匀胶显影设备使用的高精度胶泵，半导体加工领域；匀胶显影设备使用的高精度胶泵包括：驱动气缸、连接杆、风囊、壳体、端盖、第一单向阀和第二单向阀；驱动气缸与连接杆的第一端固定连接，风囊与连接杆的第二端固定连接，壳体罩设于风囊外围，驱动气缸通过端盖与壳体固定连接；第一单向阀固定于壳体进料口，第二单向阀固定于壳体出料口；当驱动气缸驱动推动连接杆往复运动时，连接杆带动风囊在壳体运动；本发明的匀胶显影设备使用的高精度胶泵通过单向阀的设计，保证了胶水流动方向的准确性，使喷胶机每次喷胶都能达到一定了喷胶量，提高了喷胶量的精度，同时也避免了首次喷胶量不足需要二次喷胶的过程，减少了胶水的浪费。