[发明专利]一种陶瓷粉体、掩膜版及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202010285665.7 申请日: 2020-04-13
公开(公告)号: CN111549310B 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 钱超;余洋 申请(专利权)人: 南京深光科技有限公司
主分类号: C23C4/134 分类号: C23C4/134;C23C4/10;C23C14/04;C23C16/04
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人: 竞存;徐冬涛
地址: 211100 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及OLED显示技术领域,具体涉及一种陶瓷粉体、掩膜版及其制作方法,所述陶瓷粉体由以下重量份数的原料组成:Al2O3 44‑48份、AlN 3‑3.5份、SiC 1‑2份、SiO2 5‑10份、TiO2 5‑6份、ZrO2 2.3‑2.8份、ZnO 1‑1.5份、稀土氧化物0.2‑0.4份,其可以在掩膜版表面形成绝缘且耐腐蚀的涂层,延长掩膜版的使用寿命,降低OLED显示装置生产中的成本。
搜索关键词: 一种 陶瓷 掩膜版 及其 制作方法
【主权项】:
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