[发明专利]一种双波长双模式的动态数字散斑干涉测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010285846.X | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111412852B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王晨;刘世杰;周游;白云波;鲁棋;徐天柱;潘靖宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双波长双模式的动态数字散斑干涉测量装置及方法，通过开关可变扩束器，以及标准球面镜头和可变倍成像镜头的切换，形成紧凑式双波长激光干涉系统和双波长散斑干涉系统两种模式共用的测量装置。利用双波长产生的合成波长干涉信号可以提高系统的测量动态范围，同时利用偏振同步移相技术可以实现系统的动态测量，降低测量环境的抗振要求。本发明测量装置及方法可以实现高精度复合材料曲面元件的大视场、大动态范围和实时动态的光滑表面形貌及粗糙表面形变的在线原位精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 双模 动态 数字 干涉 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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