[发明专利]一种提高PCVD原料气体沉积均匀性的系统、方法和应用有效

专利信息
申请号: 202010286507.3 申请日: 2020-04-13
公开(公告)号: CN111517634B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 岳静;喻煌;骆城;彭楚宇;蔡冰峰 申请(专利权)人: 烽火通信科技股份有限公司;烽火藤仓光纤科技有限公司
主分类号: C03B37/018 分类号: C03B37/018
代理公司: 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 代理人: 董婕
地址: 430000 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种提高PCVD原料气体沉积均匀性的系统、方法和应用,涉及光纤预制棒生产技术领域。该系统包括衬管、微波发生器和内设测温探头的保温炉;其中,保温炉沿衬管的轴向方向依次设有气端、中间端和泵端区域;微波发生器在各区域的预设输出功率相同;该系统还包括PLC控制单元,其被配置为,根据测温探头反馈的实时位置的设定温度,确定气端区域终止位置或中间端区域起始位置、中间端区域终止位置或泵端区域起始位置,并在气端区域起始位置、泵端区域起始位置改变微波发生器的实际输出功率,且在气端区域和泵端区域维持改变的实际输出功率恒定。本发明操作简单,自动化作业程度高,实现了衬管沉积段整体沉积的均匀性,且有效降低了制棒成本。
搜索关键词: 一种 提高 pcvd 原料 气体 沉积 均匀 系统 方法 应用
【主权项】:
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