[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积设备及其制备方法

摘要

本发明涉及微波等离子体化学气相沉积领域，通过改善微波等离子体化学气相沉积设备设计，改良微波天线的设计，可以有效提升微波等离子体化学气相沉积设备的长期使用的稳定性，减少了在生产过程中的不稳定性，有利于提高产品质量。特别是对于在生产过程中对于温度稳定性要求高的产品，如金刚石，该设备能有效提高产品的品质，提升其经济价值。