[发明专利]显示面板的制作方法有效

专利信息
申请号: 202010286984.X 申请日: 2020-04-13
公开(公告)号: CN111430378B 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 孙朝宁 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 远明
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本揭示提供一种显示面板的制作方法,包括:步骤S1:提供衬底基板,在衬底基板上形成钝化保护层;步骤S2:在钝化保护层远离衬底基板一侧涂布光阻材料,并对光阻材料进行曝光显影,形成光阻图案;步骤S3:在光阻图案远离钝化保护层一侧形成纳米纤维层;步骤S4:在钝化保护层远离衬底基板一侧沉积导电材料,导电材料覆盖纳米纤维层;以及步骤S5:用光阻剥离液去除光阻图案和位于光阻图案上的纳米纤维层和导电材料,形成导电电极图案。利用纳米纤维层的高比表面积以及空隙空间,不仅可以增大光阻剥离液和光阻的接触面积,还可以提高光阻剥离液在纳米纤维层中的扩散速度,从而优化光阻剥离的效果,并减小光阻剥离的时间,提高生产效率。
搜索关键词: 显示 面板 制作方法
【主权项】:
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