[发明专利]一种铬铝硅靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010287558.8 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111438355B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李群;许鹏国;杨海勇;李卫 | 申请（专利权）人： | 河北晟华新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F1/052 | 分类号： | B22F1/052;B22F3/15;B22F5/00;C22C21/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 054300 河北省邢台市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铬铝硅靶材及其制备方法，该制备方法包括如下步骤：将原料粉末混合均匀，其中铬以铬粉形式加入，粉末粒度为‑300目～+400目；铝以铝粉形式加入，粉末粒度为‑200目～+400目；硅以硅粉形式加入，粉末粒度为‑300目～+400目；装入包套；高温除气，封焊；热等静压，热等静压保温温度为400～500℃。无需冷等静压或其它预压方式，选用合适的粉末粒度，保证了粉末的均匀性，避免了偏析的产生，选用相对较低的合适的热等静压温度400～500℃避免了铝与其它元素例如铬发生化学反应生成脆性金属间化合物的可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铬铝硅靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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