[发明专利]一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010287561.X | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111438356B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李群;许鹏国;李卫;杨海勇 | 申请（专利权）人： | 河北晟华新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F1/052 | 分类号： | B22F1/052;B22F3/15;B22F5/00;C23C14/34;C22C21/00;C22C14/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 054300 河北省邢台市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法，该制备方法包括：提供钛粉和铝粉；将所述钛粉和铝粉混合均匀；将混合均匀的粉末装填进入包套；对装满粉末的包套进行除气；将除气完成的包套进行热等静压处理，在高温高压下，粉末在包套内部致密并形成锭坯；将锭坯进行机械加工制成钛铝靶材。制备得到的钛铝靶材有以下优点：(1)靶材材质和密度分布均匀，且致密度高、无气孔；(2)由于没有脆性金属间化合物的生成，靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；(3)本发明所提供的钛铝靶材制备方法，可实现熔炼法无法实现的高铝含量的钛铝靶材的生产；(4)相对于热压方法和熔炼方法，可实现大尺寸钛铝靶材的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 物理 沉积 钛铝靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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