[发明专利]一种柔性无机-有机复合水汽氧气阻隔薄膜及其低温制备方法在审

专利信息
申请号: 202010288080.0 申请日: 2020-04-14
公开(公告)号: CN111411346A 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 冯昊;李建国;秦利军;龚婷;张王乐;惠龙飞 申请(专利权)人: 西安近代化学研究所
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/40;H01L51/56;H01L51/52;H01L51/48;H01L51/44
代理公司: 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 代理人: 祁恒
地址: 710065 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提出一种柔性无机‑有机复合水汽氧气阻隔薄膜及其低温制备方法,阻隔薄膜包括基底层,重复交替的Al2O3无机阻隔层与PU有机阻隔层沉积在基底层上表面或上下两面,完成不同厚度范围的柔性无机‑有机复合水汽氧气阻隔薄膜的制备。本发明的低温制备方法是采用原子层沉积技术在基底层表面进行柔性无机‑有机复合水汽氧气阻隔薄膜的沉积。本发明制备的水汽氧气阻隔薄膜具有较高的水汽氧气阻隔特性、化学稳定性以及热稳定性,具有反应温度低、对基底层损伤小、自动化程度高、重复性好、沉积过程薄膜厚度可控制精确、膜层整体性好、厚度均匀、阻隔薄膜与基底层附着力强等特点,可用于各类器件防水、封装及密封领域。
搜索关键词: 一种 柔性 无机 有机 复合 水汽 氧气 阻隔 薄膜 及其 低温 制备 方法
【主权项】:
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