[发明专利]发光元件的制造装置和制造方法有效
| 申请号： | 202010289273.8 | 申请日： | 2017-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111463365B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 石川孝明;上村孝明;平田教行 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | H10K71/00 | 分类号： | H10K71/00;H01L21/67;H01L21/677;H10K59/122;H10K71/16;H10K71/60;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供对于设置场所的形状、宽敞度的自由度高且对于步骤变更、扩展等的应对性优异的有机EL装置的制造装置。本发明的制造装置的特征在于，包括：主输送路径，其具有经第1交接室连接的第1移载机和第2移载机；副输送路径，其具有与第1移载机或第2移载机连接的第2交接室和与第2交接室连接的输送室，且在与主输送路径交叉的方向上延伸；和与输送室连接的多个第1处理室，主输送路径将被处理基板以水平的状态输送，多个第1处理室中的一个第1处理室在处理中将被处理基板保持在垂直的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 发光 元件 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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