[发明专利]一种适用于PERC电池叠加SE的扩散工艺有效
| 申请号： | 202010290319.8 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN111628043B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张逸凡;王英杰;王炜翀;赵壮;李文龙;金杭 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/225 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 322118 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于单晶硅太阳能电池领域，尤其涉及一种适用于PERC电池叠加SE的新型扩散工艺。其包括：进舟、充氮和预升温；低浓度预氧化；低浓度氧气快速沉积；升温低浓度氧气快速沉积；高温快速推进；控温降温；降温高浓度氧化；高浓度氧气快速沉积；快速氧化；回压氧化；出舟。本发明能够有效缩短约8％的工艺时长，提高产能，降低了生产成本，且产品的SE方阻更加均匀，并且所得SE方阻与传统工艺扩散所得的SE方阻相差不大，电性能持平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 perc 电池 叠加 se 扩散 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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