[发明专利]匹配箱的阻抗调节方法、系统、装置及射频电源系统

摘要

本发明公开了一种匹配箱的阻抗调节方法、装置、系统及射频电源系统，根据相位电容及幅值电容的待调节极板的位置—容值—容值处阻抗的变化量的关系建立了补偿步长增益关系式，从而使得相位电容/幅值电容的不同容值处对应的补偿步长增益是不同的，从而与调节因子配合调整阻抗的变化量，使得相位电容/幅值电容的不同容值处的阻抗的变化量基本相同，减小匹配误差，降低匹配难度，提高匹配精度。此外，本申请中的第一补偿步长增益还考虑到了幅值电容的影响，第二补偿步长增益还考虑到了相位电容的影响，二者配合起来调节，进一步提高了匹配速度及匹配精度。