[发明专利]一种新型宽幅等离子表面处理装置

摘要

本发明公开了一种新型宽幅等离子表面处理装置，包括封闭的箱体和工作台，所述箱体自上向下依次分为进气区、电离区和出气区，所述进气区上设有工作气体进气孔，进气区内设置混气腔，所述电离区中间设有电极，电极设置于箱体中间的电极腔内，电极的两端连接外部高压电源装置，所述电极为一横向放置的圆柱状长电极，其外部包覆一陶瓷绝缘件，所述电极腔和电极之间设有供工作气体通过的间隙，电极腔上端设有进气通道连接进气区的混气腔，电极腔下端设有等离子通道连接出气区，所述出气区口设有与等离子通道连接的等离子出口，本发明的新型宽幅等离子表面处理装置具有以下优点：由于长条电极的设置使其处理宽度加大，解决了单一喷嘴生产效率低的的问题，同时采用技术介质放电，把结构变得非常简单，另外电极周围布满通孔，通气来降低电极放电时产生的高热量。