[发明专利]一种抛光垫微观接触状态的测量装置及其使用方法有效
| 申请号： | 202010291933.6 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN111469048B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 周平;王林;闫英;侯长余;李海鹏;郭东明 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B49/12;G06T7/00;G06T7/62 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光垫微观接触状态的测量装置及其使用方法，所述的测量装置包括基座、Z向宏微复合直线运动进给装置、力传感器、蓝宝石观测窗口、两个单筒显微镜、两个CCD摄像机、两个显微镜支架、XY两向移动工作台、运动控制系统和计算机。本发明利用光学显微镜直接拍摄抛光垫的接触界面，可以获得真实的微观接触图像，结果更加准确可靠。本发明在固定抛光垫样品时，可以保证待测表面和蓝宝石玻璃表面的均匀贴合，避免了接触不均匀现象。本发明利用DIC方法，可以直接获得抛光垫在压缩过程中的位移云图，并准确得到抛光垫表面粗糙层的压缩刚度，为抛光垫微观接触状态的分析提供可靠的数据支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 微观 接触 状态 测量 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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