[发明专利]一种用于窄长器件精密对准的键合标记结构有效
| 申请号： | 202010293727.9 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111540728B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 刘旭;施晓亭;王中武;孙小菡;王东辰;王艳;徐鹏霄 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L23/488;H01S5/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于窄长器件精密对准的键合标记结构，包括位于无源芯片上的键合标记层和位于有源激光器上的键合标记层。无源芯片上的键合标记层包括一个横向下游标标记、两个纵向下游标标记、一个凹型十字标记和两个游标基准标记。有源激光器上的键合标记层包括两个横向上游标标记、两个纵向上游标标记和一个凸型十字标记。本发明根据游标卡尺的原理，通过上、下游标标记的偏移数量，再加上十字标记确定的偏移方向，就能够精确读出键合过程中的偏移距离，从而实现有源激光器与无源芯片的精密键合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 器件 精密 对准 标记 结构 | ||
【主权项】：
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