[发明专利]深微导通孔的制作方法在审

专利信息
申请号: 202010294593.2 申请日: 2020-04-15
公开(公告)号: CN111417262A 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 马洪伟;姜寿福;宗芯如 申请(专利权)人: 江苏普诺威电子股份有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K3/02;H05K3/42
代理公司: 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 代理人: 盛建德;张小培
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种深微导通孔的制作方法,包括以下步骤:准备双面覆铜基板;对双面覆铜基板的两张铜箔层进行减铜作业;对两张铜箔层进行镭射开窗作业、形成相对设置的第一窗口和第二窗口;对辅助基板正反两面上并分别与第一窗口和第二窗口相对应的裸露区域共进行三次激光打孔作业,得到孔径<0.1mm、且孔深≥0.2mm的深微导通孔雏形;对深微导通孔雏形依次进行化学沉铜和电镀工艺处理,以实现在深微导通孔雏形内镀满导通铜,制得深微导通孔。该深微导通孔的制作方法简单、易操作,可有效克服现有诸多加工局限,很好的实现了对孔径<0.1mm、且孔深≥0.2mm的深微导通孔的加工量产。
搜索关键词: 深微导通孔 制作方法
【主权项】:
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