[发明专利]取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜及其制备方法、半导体器件在审
| 申请号： | 202010296666.1 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111470490A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 姚亚刚;祝泽周;张凯;李立强 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C01B32/168 | 分类号： | C01B32/168;C01B32/198;C09K5/14;H01L23/373;C01B32/16 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜及其制备方法、半导体器件，本发明中以碳纳米管为前驱体，通过成膜方法，将碳纳米管组装成长程有序的薄膜结构，并在成膜工艺中将一定浓度的石墨烯溶液复合在碳纳米管薄膜表面，得到取向碳纳米管/氧化石墨烯复合薄膜，将获得的复合薄膜采用高温石墨化方式制备得到具有高结晶性、低缺陷的一维与二维纳米碳材料复合导热膜。 | ||
| 搜索关键词： | 取向 纳米 石墨 复合 导热 及其 制备 方法 半导体器件 | ||
【主权项】：
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