[发明专利]一种超纯气体的气瓶处理系统及其处理方法在审
| 申请号： | 202010297832.X | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111469042A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 杨利;王占峰;叶红炳 | 申请（专利权）人： | 浙江西亚特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B31/00 | 分类号： | B24B31/00;B24C1/08;C09G1/02;C23G1/19 |
| 代理公司： | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人： | 王美芳 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超纯气体的气瓶处理系统及其处理方法，旨在提供一种处理效果好，表面光洁度高，实用性强的气瓶处理方法，其技术方案要点是将气瓶进行初步清洗和干燥处理→气瓶内壁除锈→内壁研磨→再清洗处理→除离子化处理→内部干燥→气密性检测→真空置换处理，对气瓶进行反复处理，并且保证了对气瓶的充分清洁，以及确保了对超纯气体的储存，并且本发明通过碱性脱脂剂对气瓶内壁进行除锈，提高了良好的除锈效果，同时还增加了气密性检测，则保证了对气瓶气密性的保证，进一步的保证了实用效果，本发明适用于超纯气体的气瓶处理技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 处理 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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