[发明专利]一种研磨方法与研磨装置有效
| 申请号： | 202010298359.7 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111558851B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 赵永华;陈钊杰 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨方法与研磨装置。该研磨方法用于对工件的表面进行研磨，包括如下步骤：S10对所述工件的待研磨表面进行软化以形成软化层；S20设置研磨工具，使所述研磨工具的硬度介于所述工件软化前后的硬度之间；S30使所述研磨工具相对于所述工件旋转，并使所述研磨工具与所述工件沿垂直于所述软化层的厚度方向相对运动以去除所述软化层，且所述研磨工具的研磨深度大于所述软化层的厚度。本发明能够在研磨过程中去除研磨工具表面钝化的磨粒，无需暂停研磨后来去除，一定程度上提高了研磨效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
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