[发明专利]一种基于布洛赫表面波单向耦合效应的位移传感装置有效
| 申请号： | 202010300801.5 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111442729B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王茹雪;武爱民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于布洛赫表面波单向耦合效应的位移传感装置，包括泄漏辐射显微系统，所述泄漏辐射显微系统沿光信号走向依次包括激光器、透镜组、偏振片、半玻片、入射物镜、位移平台、收集物镜、收集透镜以及成像相机，所述位移平台上设有位移传感芯片，所述位移传感芯片为布洛赫表面波单向耦合芯片。本发明使用的入射光场简单，无需矢量光束整形，并且布洛赫表面光场消光比随入射光场与芯片的相对位移变化剧烈，使得传感灵敏度和精度高、响应速度快。同时，本发明还提高了量程。另外，本发明使用的布洛赫表面波单向耦合芯片为全介质结构，易储存，重复利用率高，且该芯片容错率高，易于加工，降低了加工难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 布洛赫 表面波 单向 耦合 效应 位移 传感 装置 | ||
【主权项】：
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