[发明专利]一种晶棒直径测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010304544.2 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111426295B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘佳奇 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/12 | 分类号： | G01B21/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒直径测量装置及方法，所述装置包括：固定组件，所述固定组件形成有用于对所述晶棒进行限位的限位结构；架体，所述架体包括一旋转轴，所述固定组件通过所述旋转轴与所述架体活动连接；测量组件，所述测量组件设置于所述固定组件上，用于测量所述晶棒的直径。根据本发明实施例的晶棒直径测量装置，可以实现从牵引室将晶棒快速取出到装置的固定组件中，并在取出过程中便可获得晶棒的外部尺寸数据，避免出现取出后需要再次搬运才能进行测量的情况，节省了时间和人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直径 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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