[发明专利]旋转无尘室容器的方法和夹持器总成在审
| 申请号： | 202010304885.X | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111834268A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 托比亚斯·尼尔施;卡尔·卡格勒德;托马斯·艾希瑟德;马克西米利安·卡格勒德 | 申请（专利权）人： | 席勒自动化技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 陈践实 |
| 地址： | 德国奥斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于夹持无尘室容器的夹持器总成，包括：夹持器，其经调适以夹持无尘室容器；提升单元，包括用于提升该夹持器的第一马达；至少一缆线，其将该夹持器连接该提升单元，该至少一缆线是由该第一马达所驱动；第二马达，其用于该夹持器的至少一部分相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；该夹持器包括接合元件，该提升单元包括互补接合元件，互补接合元件经调适接合于接合元件以避免该夹持器相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；该夹持器包括上夹持器元件和下夹持器元件；该下夹持器元件经调适以支撑无尘室容器的顶部凸缘；该下夹持器元件包括穿过无尘室容器的上凸缘的开口，以及至少一个至少部分围绕该开口而形成的凹口。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 无尘室 容器 方法 夹持 总成 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
